یک طرح جدید برای دیافراگم میکروفن میکروالکترومکانیکی جهت استفاده در سمعک قابل کاشت در گوش

چكيده
اغلب سیستم¬¬های صوتی همچون تلفن همراه و سمعک به میکروفن¬هائی با کیفیت بالا، سایز کوچک و ارزان نیاز دارند. در این مقاله، فعالیت¬های انجام شده در زمینه¬ی طراحی و توسعه¬ی میکروفن میکروالکترومکانیکی پیزوالکتریک مبتنی بر دیافراگم شش ضلعی توصیف شده¬است. به منظور طراحی بهینه، شکل دیافراگم پیشنهادی، از جهت پارامترهای مختلف، در نرم افزار COMSOL شبیه سازی و مورد مقایسه قرار گرفته¬است. نتایج شبیه سازی حاکی از این است که دیافراگم شش ضلعی نسبت به شکل مربعی مورد بررسی، دارای کارائی بهینه و مطلوبی می¬باشد. با توجه به پارامترهای مورد ارزیابی ، دیافراگم طراحی شده به منظور استفاده در کاربردهای پزشکی همچون سمعک قابل کاشت در گوش پیشنهاد شده است. به علاوه، ¬AlN به عنوان ماده¬ی پیزوالکتریک در این نوع میکروفن مورد استفاده قرار گرفته¬است.
كلمات كليدي:میکروفن پیزوالکتریک، دیافراگم ، سیستم میکروالکترومکانیکی(MEMS )، AlN ، سمعک قابل کاشت در گوش.